Ishlab chiqarishning ko'plab usullari mavjudmetall kremniy kukuni. Quyidagi asosiy ishlab chiqarish usullari:
Silika qisqarish usuli:
Printsip: Metall kremniy hosil qilish uchun yuqori haroratli pechda kremniyda kremniyda kremniy va karbonraga kamaytiradigan agent.
Jarayon: ishlab chiqarilgan metall kremniy sovigan, maydalangan va turli zarralarning metall kremniy kukunini olish uchun eydi.
Kimyoviy bug 'tushirilishi (CVD):
Printsip: Silane issiqlik, mikroto'lqin, lazer, plazma va boshqalar kabi yuqori energiya va boshqalarga ta'sir ko'rsatadi va Nano kremniy kukuni tayyorlash uchun gaz bosma-atrofdagi eksklyuziv.
Ilova: Ushbu usul bilan tayyorlangan metall kukuni yuqori aniqlik va yagona elektron dasturlarga mos keladigan yagona zarracha o'lchamiga ega.
Plazma usuli:
Printsip: Plazmaning yuqori harorati va energiya xususiyatlari metall kremniy kukunini yaratish uchun kremniy manbasini parchalash uchun ishlatiladi.
Xususiyatlar: Ushbu usulda tayyorlangan metall kukuni yuqori tozalik va yuqori faollikka ega.
Jarayon: Muayyan miqdordagi qo'pol kremniy kukuni tarqalib ketgandan so'ng, u bir zumda qo'pol silikon kukuni nisbatan yuqori haroratda silika bug'ini kesib o'tadi. Silikon bug'i sovutish zonasiga kiradi va nano darajali metall kukuni bo'lish uchun kondensatsiya qilinadi.
Metall kremniton kukuni Tafsilotlar tasvirlangan rasm
